NanoTR 热反射法 - 为纳米级薄膜应用量身定做的激光闪射法导热仪

为纳秒级热反射法导热仪,可测量微米、纳米级厚度薄膜的热扩散系数。

热反射 (Thermo-Reflectance)方法基于超高速激光闪射系统,可测量基片上金属、陶瓷、聚合物薄膜的热物性参数,如热扩散系数(ThermalDiffusivity )、热导率(ThermalConductivity)、吸热系数(ThermalEffusivity)和界面热阻。

适用材料:金属、陶瓷、聚合物薄膜等

产品特点

TR基本功能

测量薄膜厚度方向的热扩散系数

层间接触热阻

产品参数

温度范围: RT,RT ... 300°C(选配)

样品尺寸: 10×10 ... 20×20mm

热扩散系数: 0.01 ... 1000mm2/s

测量模式: RF/FF

薄膜厚度: 30nm ... 20μm(取决于材质和测量模式)

主激光脉冲宽度: 0.5ps

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