为纳秒级热反射法导热仪,可测量微米、纳米级厚度薄膜的热扩散系数。
热反射 (Thermo-Reflectance)方法基于超高速激光闪射系统,可测量基片上金属、陶瓷、聚合物薄膜的热物性参数,如热扩散系数(ThermalDiffusivity )、热导率(ThermalConductivity)、吸热系数(ThermalEffusivity)和界面热阻。
适用材料:金属、陶瓷、聚合物薄膜等
TR基本功能
测量薄膜厚度方向的热扩散系数
层间接触热阻
温度范围: RT,RT ... 300°C(选配)
样品尺寸: 10×10 ... 20×20mm
热扩散系数: 0.01 ... 1000mm2/s
测量模式: RF/FF
薄膜厚度: 30nm ... 20μm(取决于材质和测量模式)
主激光脉冲宽度: 0.5ps
0755-26611297/26611210王小姐13923750176/18025360015姜先生13902907459
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